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上海積塔半導體酸堿廢氣處理設備開啟自動運行!

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文章出處:責任編輯:作者:李紅祥 手機:18410011020人氣:-發表時間:2020-04-10 14:39:00

  自上海積塔半導體企業廢氣處理現場最新消息: 近日,繼上海積塔半導體有機廢氣處理系統設備負荷聯動調試運行后,格林斯達現場工程隊相繼啟動了酸/堿廢氣處理設備洗滌塔自動運行,不日即可正式投入半導體芯片制造廢氣處理之中。

 

上海積塔半導體酸堿廢氣處理設備-洗滌塔

上海積塔半導體企業酸堿廢氣處理設備臥式洗滌塔自動運行中


  因半導體企業芯片制造對生產環境的高要求,半導體制程工序須在密閉的清潔車間內完成。根據半導體企業的要求,酸性、堿性廢氣處理設備—洗滌塔全部置于車間一層,廢氣洗滌塔一般采用臥式裝置,主要對半導體企業大風量、低濃度酸堿廢氣進行高效處理。
  上海積塔半導體酸/堿廢氣處理設備包括:
  半導體酸廢氣處理設備,廢氣風量90000CHM,臥式洗滌塔6臺。
  半導體堿廢氣處理設備,廢氣風量60000CHM,臥式洗滌塔3臺。
  半導體EPI堿廢氣處理設備:廢氣風量20000CHM,臥式洗滌塔2臺。
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