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格林斯達中標忻州微波芯片廢氣處理系統新項目!

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文章出處:責任編輯:作者:李紅祥 手機:18410011020人氣:-發表時間:2020-03-30 14:27:00

忻州半導體產業園東區

 

  今天,格林斯達廢氣處理環保公司第一時間發布喜訊,中標山西忻州三十八度集成電路制造廢氣處理新項目,即:微波芯片廠房/5G半導體廢氣處理項目工藝排氣系統。
  忻州微波芯片半導體廢氣處理新項目,主要分為:有機廢氣處理、酸性廢氣處理和污水站臭氣治理等三項;所用廢氣處理系統共三套,主要廢氣處理設備有:廢氣洗滌塔、活性炭吸附裝置和污水站除臭洗滌塔等。
  1、有機廢氣處理設備——活性炭吸附裝置:主要對半導體光刻、去膠等工序中產生的非甲烷總烴等VOCs廢氣進行處理,廢氣風量設計參數27000CMH。
  2、酸性廢氣處理設備——廢氣洗滌塔:主要對半導體濕蝕刻、拋光、離子注入,以及化學氣相沉積等工序產生的次氯酸、硫酸等廢氣進行處理,廢氣風量設計參數19000CMH。
  3、污水站臭氣處理設備——除臭洗滌塔:主要對廠區污水站產生的臭氣進行治理,風量設計參數7500CMH。
  該企微波芯片項目,是山西忻州半導體及新材料產業集群園的主打產業。這一項目中所涉及的微波射頻集成電路,是無線通訊領域的核心技術,也是國際芯片設計領域公認的最難設計的集成電路品種。同時,由北京格林斯達廢氣處理環保公司為其提供的廢氣處理方案,不日將在忻州半導體及新材料產業集群園落地。

 

 

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